MES-Einführung in einem Forschungsverbund – Erfahrungsbericht aus der Halbleiterindustrie

Das beschriebene MES-Projekt umfasste die dafür nötigen Vorarbeiten inkl. der MES-Auswahl sowie die eigentliche MES-Einführung. Der betrachtete Forschungsverbund mit 11 sogenannten Forschungs-Fabs ist der größte europäische Kompetenzträger in der angewandten Forschung auf dem Gebiet der Mikro- und Nanoelektronik mit über 4.500 Mitarbeitern und einem technisch sehr heterogenen Anlagenpark. Das MES soll im Schwerpunkt die technologische Prozesssteuerung und -entwicklung aber auch die logistische Prozesssteuerung verbessern und zielt perspektivisch auf eine papierlose Fabrik.